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半導(dǎo)體封裝材料真空探針臺

簡要描述：半導(dǎo)體封裝材料真空探針臺是一種能夠在高真空環(huán)境下進(jìn)行精確測量和實(shí)驗(yàn)的設(shè)備。其基本原理是利用真空環(huán)境下的物理現(xiàn)象和特性，對樣品進(jìn)行各種實(shí)驗(yàn)和測量。在高真空環(huán)境中，氣體分子很少，這有助于減少空氣阻力、空氣振動和其他干擾因素，從而獲得較為準(zhǔn)確和可靠的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-08-01
訪問量：2060

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半導(dǎo)體封裝材料測試系統(tǒng)

電場介電損耗，漏電流測試系統(tǒng) TSDC測試系統(tǒng) 高低溫絕緣電阻測試系統(tǒng) 真空探針臺

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詳細(xì)介紹

品牌	華測儀器	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子/電池,電氣,綜合

半導(dǎo)體封裝材料真空探針臺

半導(dǎo)體封裝材料真空探針臺

半導(dǎo)體封裝材料真空探針臺產(chǎn)品參數(shù)：

樣品臺尺寸：2英寸

樣品固定：樣品固定

觀察窗口：2英寸

真空度：10-6 torr

探針臂接口：最多6個探針臂接口

其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮 / 液氦

控制方式：開循環(huán)手動

溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動精度：10μm / 1μm

光源：外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源

CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素

X-Y-Z 移動行程：X-Y-Z 移動行程

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動精度：10μm / 1μm

線纜：同軸線 / 三軸線 / 射頻線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定

接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口

射頻支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質(zhì)：鎢鋼 / 鈹銅

真空組件：分子泵組 / 機(jī)械泵

冷源組件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機(jī)

外形重量：730mm×750mm×1265mm（長寬高）約100kg

防震桌參數(shù)：

氣浮隔振防震桌

隔振方式:隔振方式

材質(zhì):不銹鋼 / 碳鋼

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:＜0.8μm

孔距:25×25mm

孔徑:M6

平臺尺寸（長寬):可定制

平臺厚度：50 / 100 / 200mm

固有頻率:.5Hz - 2Hz

支撐腿:氣浮支撐腿

支撐腿數(shù)量:4個 / 6個

支撐腿高度:800mm±10mm

其他:內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制

半導(dǎo)體封裝材料真空探針臺

產(chǎn)品參數(shù)：

樣品臺尺寸：4英寸

樣品固定：樣品固定

觀察窗口：4英寸

真空度：10-6 torr

探針臂接口：最多6個探針臂接口

其他接口：電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：制冷機(jī)

控制方式：閉循環(huán)自動控制

溫度范圍：4.5K ~ 450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

X-Y-Z 移動行程：50mm×25mm×13mm

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動精度：10μm / 1μm

光源：外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源

CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素

X-Y-Z 移動行程：X-Y-Z 移動行程

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動精度：10μm / 1μm

線纜：同軸線 / 三軸線 / 射頻線

漏電精度：10pA / 100fA / 10fA

固定探針：彈簧固定 / 螺絲固定

接頭類型：BNC / 三軸 / 香蕉頭 / 鱷魚夾 / 接線端子/ 射頻接口

射頻支持：DC-67GHZ

針尖直徑：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm

材質(zhì)：鎢鋼 / 鈹銅

真空組件：分子泵組 / 機(jī)械泵

冷源組件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷機(jī)

外形重量：730mm×750mm×1265mm（長寬高）約100kg

防震桌參數(shù)：

阻尼隔振防震桌

隔振方式:高級復(fù)合材料隔振

材質(zhì):不銹鋼 / 碳鋼

平面度:0.05mm / m2

粗糙度:＜0.8μm

孔距:25×25mm

孔徑:M6

平臺尺寸（長寬):可定制

平臺厚度：50 / 100 / 200mm

固有頻率:6Hz - 8Hz

支撐腿:阻尼支撐腿

支撐腿數(shù)量:4個 / 6個

支撐腿高度:800mm±10mm

其他:內(nèi)芯采用蜂窩支撐、表面密迪紋處理、支撐腳可選腳輪、特殊尺寸可定制

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